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  • 創(chuàng)新南大

    打造具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)?的?純電?材料研發(fā)創(chuàng)新中?


    四大核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

    持續(xù)攻克“卡脖子”,打破封鎖,創(chuàng)造了許多項(xiàng)“中國(guó)第一”

    中國(guó)制造的第一瓶三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁、三乙基鎵等MO源產(chǎn)品;
    第一瓶砷烷、磷烷
    第一支193nm ArF光刻膠
    • 863

      國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃
    • 02

      專(zhuān)項(xiàng)計(jì)劃
    • 17%

      碩?學(xué)位以上占?
    • 215

      研發(fā)專(zhuān)家

    科研實(shí)力

    江蘇南?光電研發(fā)中?致?于國(guó)家急需的關(guān)鍵電?材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,研發(fā)?向 包括先進(jìn)光刻膠、特種?體、泛半導(dǎo)體材料、原?層沉積前驅(qū)體及OLED有機(jī)新材料等。

    實(shí)驗(yàn)室

    實(shí)驗(yàn)室

    中?擁有13500平?現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室以及眾多先進(jìn)的研發(fā)、分析、測(cè)試設(shè)備,包括 193nm浸沒(méi)式光刻機(jī)1臺(tái)、?分辨核磁5臺(tái)、ICP-MS4臺(tái)、ICP-OES 2臺(tái)、各種 質(zhì)譜3臺(tái)以及進(jìn)?升華儀.蒸鍍機(jī)、熒光光譜儀.OLED光電測(cè)試lVL系統(tǒng)等其他?型儀器。

    創(chuàng)新平臺(tái)

    創(chuàng)新平臺(tái)

    國(guó)家?新技術(shù)企業(yè)
    江蘇省?純電?材料?程研究中?
    江蘇省企業(yè)技術(shù)中?
    江蘇省?純?屬有機(jī)化合物MO源材料?程技術(shù)研究中?
    博?后科研?作站
    江蘇省外國(guó)專(zhuān)家?作室
    材料科學(xué)姑蘇實(shí)驗(yàn)室

    研發(fā)團(tuán)隊(duì)

    研發(fā)團(tuán)隊(duì)

    中?擁有研發(fā)?員215?,其中外籍專(zhuān)家9?,國(guó)家級(jí)重大人才工程3人,江蘇省“雙創(chuàng)?才”7名,姑蘇創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍?端?才6名。團(tuán)隊(duì)中博?學(xué)位14名,碩?學(xué)位以上占?超過(guò)17%。

    技術(shù)突破

    • 打破封鎖

      1986年,MO源作為前驅(qū)體核心材料納入國(guó)家高技術(shù)發(fā)展計(jì)劃。
      2000年,南大光電成立,MO源成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,成功打破“巴統(tǒng)”和國(guó)外公司的技術(shù)壟斷,并在“神舟”飛船、“東4”大衛(wèi)星平臺(tái)系列衛(wèi)星等航天器的太陽(yáng)能電池上成功得到運(yùn)用。

    • 產(chǎn)業(yè)提升

      2016 年,承接國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”,現(xiàn)已建成具備合成、純化、分析、封裝等功能的ALD前驅(qū)體研發(fā)中心和生產(chǎn)線,完全滿(mǎn)足相關(guān)芯片產(chǎn)品的制造要求。

    • 國(guó)際領(lǐng)先

      2017年11月,引入陶氏化學(xué)的高K三甲基鋁生產(chǎn)線,2020年10月正式投產(chǎn),在開(kāi)發(fā)高端半導(dǎo)體的進(jìn)程中,扮演關(guān)鍵材料供應(yīng)商的重要市場(chǎng)角色。 2020年12月,跨國(guó)并購(gòu)杜邦集團(tuán)19項(xiàng)專(zhuān)利資產(chǎn)組,6項(xiàng)技術(shù)屬于全球首創(chuàng)技術(shù),一舉邁入國(guó)際領(lǐng)先的前驅(qū)體材料企業(yè)行列。

    • 自主創(chuàng)新

      2013年,獲得國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”高純特種電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目支持。
      2016年,經(jīng)過(guò)3年的技術(shù)開(kāi)發(fā),成功實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)30年未能解決的高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化難題,一舉打破了國(guó)外技術(shù)封鎖和壟斷,為我國(guó)極大規(guī)模集成電路制造提供了核心原材料。

    • 替代進(jìn)口

      目前,砷烷品質(zhì)己達(dá)到7N,技術(shù)居全球前列,產(chǎn)能躍居全球第一,并進(jìn)入國(guó)際一流公司供應(yīng)鏈。磷烷的技術(shù)水平也已居全球前列,產(chǎn)能為全球第二。

    • 產(chǎn)業(yè)整合

      2019年8月,南大光電成功并購(gòu)飛源氣體,開(kāi)始布局氟系列電子特氣。依托南大光電客戶(hù)、機(jī)制和技術(shù)優(yōu)勢(shì),進(jìn)行60多項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新,迅速提升產(chǎn)能、品質(zhì),降低成本,二年實(shí)現(xiàn)三氟化氮產(chǎn)能4000噸、六氟化硫產(chǎn)能3000噸,成本全球領(lǐng)先,產(chǎn)能?chē)?guó)內(nèi)第二、全球第三。

    • 國(guó)際領(lǐng)先

      一是擴(kuò)展現(xiàn)有高純磷烷、高純砷烷氫類(lèi)電子特氣,進(jìn)軍氟系、硅系和硼系特種氣體;
      二是持續(xù)開(kāi)發(fā)先進(jìn)純化工藝、先進(jìn)吸附劑及負(fù)壓安全吸附技術(shù)以及特種氣體廢氣處理材料,提升電子特氣產(chǎn)品純度,尤其7N級(jí)別高純磷烷砷烷、5N級(jí)別BF3等高端領(lǐng)域的應(yīng)用;
      三是 “123”新奮斗目標(biāo):在內(nèi)蒙古打造一個(gè)世界級(jí)的氟硅電子材料基地,實(shí)現(xiàn)“綠色能源+綠色制造”,以“雙綠”躋身世界;培養(yǎng)三個(gè)世界單項(xiàng)冠軍。

    • 打破技術(shù)封鎖

      2017年,公司承接國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”高分辨率光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)的研究項(xiàng)目,達(dá)到光刻膠基礎(chǔ)配方分辨率相關(guān)技術(shù)節(jié)點(diǎn)要求和項(xiàng)目原定的技術(shù)指標(biāo)要求,得到了“02-專(zhuān)項(xiàng)”項(xiàng)目驗(yàn)收專(zhuān)家組的高度認(rèn)可。
      2018年,02重大專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室決定由我司承擔(dān)193nm浸沒(méi)式光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,向我國(guó)真正擁有ArF光刻膠產(chǎn)品的方向繼續(xù)邁進(jìn)。

    • 實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

      2019年底,公司在寧波市北侖區(qū)完成了第一條光刻膠生產(chǎn)線建設(shè),產(chǎn)能達(dá)到10噸/年的規(guī)模, 第二條光刻膠生產(chǎn)線于2020年完成建設(shè),總產(chǎn)能達(dá)到25噸/年。同時(shí)在國(guó)家重大科技攻關(guān)項(xiàng)目的支持下,向光刻膠配套原材料領(lǐng)域展開(kāi)技術(shù)攻關(guān)。
      2020年4月,成為中國(guó)首個(gè)購(gòu)買(mǎi)ASML 193nm浸沒(méi)式光刻機(jī)的電子材料企業(yè)。
      2020年底和2021年5月,193nm ArF光刻膠先后通過(guò)存儲(chǔ)和邏輯兩家芯片制造企業(yè)的驗(yàn)證,為量產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),成為國(guó)內(nèi)首個(gè)通過(guò)驗(yàn)證的ArF光刻膠產(chǎn)品,ArF光刻膠研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵性突破,被列為國(guó)家攻克“卡脖子”工程的標(biāo)桿。
      2021年建黨100周年前夕,順利通過(guò)國(guó)家“02-專(zhuān)項(xiàng)”驗(yàn)收。

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