2022年5月10日，南大光電具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的TMA自制產(chǎn)品正式下線(xiàn)并圓滿(mǎn)完成首銷(xiāo)，一舉打破了我國(guó)在TMA合成方面的長(zhǎng)期空白，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原材料品質(zhì)的穩(wěn)定可控、供應(yīng)鏈的安全提供了切實(shí)保障，同時(shí)也為三甲基鋁的進(jìn)一步應(yīng)用擴(kuò)展打開(kāi)了大門(mén)，成為南大光電科技報(bào)國(guó)的又一力證。

三甲基鋁（TMA）是自燃化合物,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能、LED、第三代半導(dǎo)體以及集成電路高K材料中，它還可以用來(lái)制備第三代半導(dǎo)體常用的甲基類(lèi)化合物，比如三甲基鎵或三甲基銦，也是高端茂金屬聚乙烯催化劑助劑（甲基鋁氧烷）的必須材料。TMA由于對(duì)水氧極其敏感、純度要求極高、合成工藝路線(xiàn)復(fù)雜，因此我國(guó)一直處于依賴(lài)進(jìn)口的劣勢(shì)。

南大光電TMA合成項(xiàng)目由公司首席科學(xué)家楊敏博士任主要負(fù)責(zé)人，南大光電半導(dǎo)體材料有限公司作為研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化落地載體，致力于打通TMA合成工藝路線(xiàn)，打破原料限制，實(shí)現(xiàn)對(duì)內(nèi)外部客戶(hù)的量產(chǎn)供應(yīng)。項(xiàng)目于2018年末啟動(dòng)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室研發(fā)；2019年上半年開(kāi)始進(jìn)行中試的設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試、試生產(chǎn)；2020年中期，在中試取得階段性成果的基礎(chǔ)上，開(kāi)始進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化的設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試、試生產(chǎn)；2022年4月22日，產(chǎn)出高純度的合格產(chǎn)品。

一路走來(lái)，篳路藍(lán)縷?；厥走^(guò)去總是容易的，然而一路經(jīng)歷的酸痛苦辣只有身在其中才能體會(huì)：從文獻(xiàn)調(diào)研確定新路線(xiàn)的突破點(diǎn)，從手套箱里一步步小試的證實(shí)和穩(wěn)定，從一個(gè)個(gè)產(chǎn)品的分析及方法的確定，從小試轉(zhuǎn)中試的“堵點(diǎn)排查”，從每周上百次核磁的原因分析，從一次又一次的工藝調(diào)整，從一次次夜班的外賣(mài)和“可樂(lè)”，從“屢戰(zhàn)屢敗”到“屢敗屢戰(zhàn)”，從產(chǎn)線(xiàn)的清洗安裝檢漏到試產(chǎn)前的不眠，從“堵得懷疑人生”到“順得戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢”的情緒起伏，從等待產(chǎn)品分析結(jié)果前夜打摜蛋把對(duì)手當(dāng)成隊(duì)友的緊張到半夜分享好消息的快樂(lè)......

忘不了茅總的不懈鞭策，忘不了吉工的悉心指導(dǎo)，忘不了陸廠(chǎng)的悉心把關(guān)，忘不了安全、分析品管及各部門(mén)的有求必應(yīng)、迅猛出動(dòng)，忘不了各供應(yīng)商的同心協(xié)作，忘不了項(xiàng)目組成員拖著疲憊身軀前行的堅(jiān)定以及成功后臉上洋溢著的喜悅！

南大光電創(chuàng)始人孫祥禎教授一直致力于高純電子材料的國(guó)產(chǎn)化，他創(chuàng)立的南大光電打破了國(guó)際封鎖，開(kāi)創(chuàng)了我國(guó)自主MO源材料，促進(jìn)了我國(guó)LED、第三代半導(dǎo)體的迅猛發(fā)展，孫老師心里還裝著一個(gè)個(gè)的其他關(guān)鍵材料，三甲基鋁的自產(chǎn)可以將一個(gè)材料從清單中劃出，后面還將有更多的材料跟進(jìn)。